上海微电子
| 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | |
|---|---|
| Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | |
 | |
| 公司类型 | 上市公司 |
| 成立 | 2002年 |
| 总部 |  中华人民共和国上海市浦东新区张东路1525号 |
| 产业 | 半导体产业 |
| 产品 | 半导体 光刻系统 |
| 母公司 | 上海张江高科技园区开发股份有限公司 |
| 网站 | www |
上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）是中国大陆半导体装备制造商，主要生产半导体装备、泛半导体装备、高端智慧装备的开发、设计、制造、销售及技术服务[1]。
沿革[编辑]
2018年，上海微电子装备所能投产的光刻机制程为90nm[2]，后于有传闻更精良的28nm光刻机制程据闻将于2021年首季问世[3][4][5]，但亦未确定28nm机型的量产能力，由于过去未如外国厂商集合商业联盟进行联合开发，在科研单位与业界支持力道不足下，因而销售市占主要仅在中低端光刻机与相关装置[6][7]，但随着美国向中国大陆禁运光刻机，中国国产光刻机的发展被广受关注[8]。但据2021年《第一财经》报导，近日发布的《中国集成电路产业人才发展报告（2020-2021年版）》显示中国大陆半导体人才短缺高达20余万人，中国大陆半导体产业的情况并不乐观[9]。
到了2023年5月开始，不少消息据称更精良的首部28nm光刻机样机＂SSA/800-10W＂据闻将于2023年末投入测试[10][11][12]，但是并没有更多相关细节流出。
2022年7月7日，'上海微电子举行了首台2.5D/3D先进封装光刻机的交付仪式，但该机器是用于晶片下游制造的先进封装光刻机，并非此前关注的用于晶片上游制造的光刻机[13]。现今，上海微电子装备生产的先进封装光刻机在中国大陆的市占率达80%，海外市占率达40%[13]。
光刻机产品[编辑]
- SSX600系列：用于晶片上游制造，最先进可以用于90nm晶片的制造[13]。
- SSX500系列：用于晶片下游制造，即先进封装[13]。
- SSX300系列，面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域[14]
- SSX200系列，专用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造，可应用于2.5代～6代的TFT显示屏量产线。[14]
参见[编辑]
参考来源[编辑]
- ^ 发展历程. [2018-11-07]. （原始内容存档于2020-10-05）.
- ^ 由国内三台光刻机开始的一些思考. [2018-11-07]. （原始内容存档于2018-11-07）.
- ^ 上海微電子28nm光刻機明年交付！意義何在？. [2020-06-07]. （原始内容存档于2020-12-07）.
- ^ 國內28nm光刻機有望明年出貨，離半導體自給自足又近了一步. [2020-12-07]. （原始内容存档于2022-02-11）.
- ^ China's 28nm-Capable Chip Fabbing Tool on Track Amid Trade War. [2020-12-06].
- ^ 為什麼光刻機比原子彈還難造？. [2021-01-28]. （原始内容存档于2021-02-04）.
- ^ 讲述上海微电子的故事，还原国产28nm光刻机真相. [2021-03-16]. （原始内容存档于2021-01-23）.
- ^ 觀點投書：中國向光刻機急起直追. [2020-12-22]. （原始内容存档于2021-01-04）.
- ^ 發展半導體產業 大陸未來兩年至少還缺20萬人才. [2021-11-18]. （原始内容存档于2021-11-18）.
- ^ 中國首台28nm光刻機到底有沒有出爐？聽起來有點太玄乎. [2023-05-09]. （原始内容存档于2023-08-07）.
- ^ 國產光刻機有望取得突破 首台國產28nm工藝沉浸式光刻機最快年底交付. [2023-08-03]. （原始内容存档于2023-08-07）.
- ^ Chinese firm expected to deliver 28nm chip machine at year-end: media report. [2023-08-01]. （原始内容存档于2023-10-09）.
- ^ 13.0 13.1 13.2 13.3 联合报记者黄雅慧. 上海微電子小躍進 新一代「先進封裝光刻機」交付. 联合新闻网. 2022-02-08 [2022-07-27]. （原始内容存档于2022-07-27） （中文（台湾））.
- ^ 14.0 14.1 300系列光刻机. [2022-10-02]. （原始内容存档于2022-10-02）.